나노인덴터 압입팁의 특성에 따른 표면 이미지 오차 연구

W-C-N 확산방지막의 전자거동(electromigration) 특성과 표면 강도(surface hardness) 특성 연구

Plasma를 이용한 세정액의 활성화와 시료 표면의 탄성계수 및 강도 변화에 대한 연구

PLVA 방법을 활용한 PR stripper의 성능 향상과 HDI-PR 표면의 내력 변화 연구

불순물을 주입한 텅스텐(W) 박막의 확산방지 특성과 박막의 물성 특성연구

Physical properties and applications of amorphous W-N diffusion barriers for 3-d Cu interconnection

Plasma liquid-vapor activation (PLVA) effect of the semiconductor etching process for photoresist residues

플라즈마 약액 활성화 방법을 이용한 Photoresist strip 가속화 연구

W-C-N 확산방지막의 격자상수 변화 분석을 통한 특성 연구

Boron 불순물에 의한 W-B-C-N 확산방지막의 특성 및 열적 안정성 연구