발행물
컨퍼런스
제 50회 한국진공학회 동계정기학술대회
2016
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박막 표면의 플라즈마 damage에 대한 식각 물성 연구
증착 시 질소 유량 변화와 열처리에 따른 ZrN박막의 기계적 특성 및 전기적 특성 변화 연구
International Union of Materials Research Societies-International Conference on Advanced Materials
2015
Effect of the Source Frequency in ACP Source Etch System on the Surface Hardness by Nano Indenter for sub-20nm SADP process applications
Development of Nano-mechanical method to investigate the difference of surface potential and surface hardness of SiC polytypes
Analysis of the plasma damage using Nano-Indenter for sub-20nm SADP process applications in ACP plasma etching system