발행물
컨퍼런스
International Forum on Functional Materials (IFFM)
2015
,
Plasma damage effects of SiO2 thin film measured by nano-indenter for various etching conditions using ACP plasma source
Thermal stability of W-Zr-N thin film focused on the effect of Zr impurity analysis using Nano-electrotribology
The 17th International Symposium on the Physics of Semiconductors and Applications
2014
Nano-electrotribological properties of HfN insulator formed by rf magnetron sputter with various nitrogen concentration
2014 추계 한국전기전자재료학회
KPFM 모드를 이용한 박막 표면의 결정성 및 결정 방향 변화에 따른 특성 연구
Nano-Indenter 분석 기법을 적용한 박막의 결정성에 대한 정량적 분석과 물성 특성 평가