발행물
컨퍼런스
제 46회 한국진공학회 동계정기학술대회
2014
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질소 유량 변화에 따른 Zirconium Nitride의 Nano-electrotribology 특성변화 연구
질소유량 변화와 고온 열처리에 의한 HfN 박막의 Nano-electrotribology 특성 연구
Rf Magnetron Sputter로 증착된 ZrN박막의 후열처리 효과에 따른 Nano-electro-tribology 특성변화 연구
ICSE 2013
2013
Nano-mechanical properties of HfN films deposited by rf magnetron sputter according to various N2 gas flow
Surface oxidation mechanism of AgOx thin film for T-OLED by using KPFM and nano-indenter