발행물
컨퍼런스
제 44회 한국진공학회 동계정기학술대회
2013
,
Nano-Mechanics 분석을 통한 질화 텅스텐 확산방지막의 질소 유량에 따른 박막내 응력 변화 연구
UV 처리에 의해 표면 산화 처리한 Silver Oxide 박막의 결정 변화에 따른 Nano Mechanics 특성 연구
산소유량 변화에 의한 산소 과포화된 HfOx 박막의 고온 열처리에 따른 Nanomechanics 특성 연구
International Korea-Japan Seminar on Ceramics
2012
Investigation of Hammering Effect for Fabrication of Dense BaTiO3 Thin Films On Cu Substrates
한국물리학회 2012년 가을학술논문발표회
Nano-Mechanics 분석을 중심으로한 HfO₂박막의 특성 연구