발행물
컨퍼런스
2014 추계 한국전기전자재료학회
2014
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열처리 온도 변화와 질소효과에 따른 HfN 박막의 나노기계적특성 변화 연구
제 47회 한국진공학회 하계정기학술대회
HfN 확산방지막의 열처리 중 결정학적 변화에 따른 nano-electrotribology 특성 변화 연구
ICMAP 2014
Analysis of local-surface potential and local-mechanical properties in silver oxide thin film for precise control of work function using UV exposure
Analysis and measurement of volume change by transformation of crystal between Hf and HfOx thin film during oxidation using Nano-indenter
제 46회 한국진공학회 동계정기학술대회
RF Magnetron Sputter로 증착 한 HfN 박막의 Plasma Power 변화에 따른 Nano-electrotribology 특성 변화 연구