발행물
컨퍼런스
제49회 한국진공학회 하계정기학술대회
2015
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박막 표면 결정성에 대한 Nano-Indenter 압입 각도 차이의 nano-electrotribology 특성 변화 연구
Nano-Indentation 분석 기법을 활용한 플라즈마 식각 후 박막 표면의 물성 변화를 기반으로 정량적인 damage 제시 연구
Nano-Indenter 측정 중 Indenting 깊이에 따른 박막의 표면 및 기판 효과에 의한 ZrN 박막의 특성연구
Nano-electrotribology 분석을 중심으로 표면 stress 분석에 의한 HfN 박막의 질소효과 연구
Nano-Indenter 측정 결과를 Weibull 분포로 해석한 ACP 플라즈마 소스의 플라즈마 에칭 조건에 따른 균일도 연구