발행물
컨퍼런스
제 42회 한국진공학회 동계정기 학술대회
2012
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Stress - Strain Curve를 이용한 W-C-N 확산방지막의 물성 특성 연구
Nanoindenter를 이용한 박막의 신뢰도 측정과 열적 안정성 연구
Mossbauer & Nano Symposium 2011
2011
급속 열처리 온도에 따른 W-N 확산방지막의 기계적 특성
RF Magnetron Sputter로 증착된 HfO2 유전체 박막의 Nanoindentation 연구
유기발광소자 (OLED)용 Ag 전극박막의 나노트라이볼로지 특성 연구