발행물
컨퍼런스
Silicon Carbide and Related Materials 2013
2013
,
Nano-mechanical Analyis of Triangular Defect in 4H-SiC Epilayer
AEPSE 2013
Nanomechanical analysis of etched surface for adaptively coupled plasma etching system for sub-20nm SADP process applications
한국진공학회 하계정기할술대회
T-OLED의 반사전극으로 사용하기 위한 Ag 박막 표면의 UV 산화 및 KPFM을 이용한 표면 전위 측정
연속압입 분석을 통한 HfN 박막의 질소 분압에 따른 고온 열처리후 물리적 특성 분석
Nano-mechanics 분석을 기반으로 Sol-gel PZT 박막의 Plasma에 의한 물리적 특성 변화 연구