기본 정보
연구 분야
프로젝트
발행물
구성원
특허
주요 특허
상태출원연도과제명출원번호상세정보
등록2020원자층을 증착하는 증착 장치1020200123336
등록2019유해가스 촉매변환기1020190151376
등록2019연료 전지 및 이의 제조 방법과 촉매 전극1020190057084
등록2019플라즈마 처리 장치 및 방법1020190003465
등록2017리모트 플라즈마를 이용한 원자층 증착 시스템1020170120564
주요 특허

원자층을 증착하는 증착 장치

상태
등록
출원연도
2020
출원번호
1020200123336

유해가스 촉매변환기

상태
등록
출원연도
2019
출원번호
1020190151376

연료 전지 및 이의 제조 방법과 촉매 전극

상태
등록
출원연도
2019
출원번호
1020190057084

플라즈마 처리 장치 및 방법

상태
등록
출원연도
2019
출원번호
1020190003465

리모트 플라즈마를 이용한 원자층 증착 시스템

상태
등록
출원연도
2017
출원번호
1020170120564
전체 특허
상태출원연도과제명출원번호상세정보
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