고전력 반도체 용 SiC 기판 세정을 위한 고청정 세정액 개발 및 이를 이용한 세정 기술 개발

산업통상자원부

2024년 - 2024년 12월

10nm급 CMP 공정용 세라믹 기반 하이브리드 컨디셔너 개발

산업통상자원부

2023년 - 2023년 12월

반도체 3D 패키징 입체구조의 대면적 검사를 위한 홀로그래피 기반 자동 광학 검사 장비 개발

산업통상자원부

2023년 - 2023년 12월