연구 영역
대표 연구 분야
본 연구실의 핵심 연구 역량과 전문 분야
Cu CMP 후 브러시 세정에서 오염 및 화학적 결합 제어
PVA 브러시 기반 post-CMP cleaning에서 슬러리 입자, 첨가제, 구리 이온이 오염과 계면 결합에 미치는 영향을 규명하여 Cu 하이브리드 본딩 품질을 향상하는 연구
논문3
특허0
프로젝트1
SiC 기판용 고청정 세정액 개발 및 결함 저감 공정
SiC 기판 세정을 위해 오염 입자와 식각액 잔사를 제거하는 고청정 세정액 조성을 개발하고 결함을 저감하는 연구
논문0
특허0
프로젝트3
3D 패키징 대면적 자동 광학 검사용 디지털 홀로그래피 계측
3D 패키징 입체구조의 대면적 검사를 위해 디지털 홀로그래픽 현미경 기반 자동 광학 검사 장비를 개발하는 연구
논문0
특허0
프로젝트4