2013

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미세구조체의 휘어짐을 마음대로 조절할 수 있는 이중 전류도금 방법

2013

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독립적 전압 인가 방식을 이용한 정전구동식 미세 기계적 바이오센서의 향상된 전기적 검출 방법

2012

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소자의 부착력 감소를 위한 절연 액체 패키지 분위기

2012

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전력분야로의 적용을 위한 정전 구동형 미세 전자기계 시스템 스위치

2012

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자기-정렬 디퓨저 리소그래피를 이용한 대면적의 균일한 마이크로렌즈 어레이 제작