2006

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MEMS process 비용 절감을 위한 두꺼운 포토레지스트에서 완전한 에지 비드 효과 방지

2006

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3차원 리소그래피 기술 및 패턴 전사 기술을 이용한 다양한 3차원 미소구조체 제작

2006

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서브 마이크로미터 크기의 간격을 가지는 고충진율 마이크로렌즈 어레이

2006

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고분자 분산형 액정막을 이용한 새로운 3차원 리소그래피 기술

2006

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A new three-dimensional lithography using Polymer Dispersed Liquid Crystal (PDLC) films