발행물
컨퍼런스
13th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS `05
2005
,
3D diffuser lithography: A novel method to fabricate various rounded microstructures
제 4회 한국MEMS학술대회
유전자 분석기의 DNA 시료 전처리를 위한 일회용 수동 미소유체 칩
제7회 한국MEMS학술대회
새로운 디퓨저 리소그래피를 이용한 마이크로렌즈 어레이의 제작 및 특성 평가
18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2005 Miami
Stiction-free cantilevers with rounded cross-section
2003 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest
2003
Performance comparison of 5GHz VCOs integrated by CMOS compatible high Q MEMS inductors