발행물
컨퍼런스
제 20회 한국MEMS학술대회
2018
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점착 문제 없이 낮은 동작 전압을 가지는 MEMS 스위치를 만들기 위해 제작이 완료된 후 상/하판 사이 간격을 줄이는 영구 변형 방법에 대한 연구
박막 처짐을 이용한 고해상도 무렌즈 형광 이미징 시스템
SnO2 박막이 집적된 공중 부유 빔 마이크로히터를 이용한 저전력 CO 가스 감지
31st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2018
A high-resolution lensless fluorescence imaging system using membrane deflection for reducing gap between samples and image sensor
Material-independent nanowire-transfer method based on mechanical interlocking for high performance flexible devices