발행물
컨퍼런스
제19회 한국MEMS학술대회
2017
,
Carbon nanotubes network contact lubrication의 산화에 의한 MEMS 스위치의 접촉 수명 변화 연구
팔라듐 나노구조 형상에 따른 크랙 발생 경향과 수소 감지 성능 비교
접합 물질의 모세관힘을 이용한 상온, 상압 MEMS 패키징
니켈 몰드를 이용한 양산성 있는 역사다리꼴 미소 구조체 제작 방법
코플라나 전극 구조를 이용한 정전용량 형 고성능 유연 투명 촉각 센서