발행물
컨퍼런스
CMPUGM
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3D 프린팅 기술을 활용한 기능성 경사 미세구조 CMP 패드 제작 및 성능 평가
KSPE 2025 Spring Conference
전기증착 공정의 이종합금 결정구조 제어를 통한 리튬금속전지 음극 집전체의 표면개질
나노공학 표면의 비전형적 접촉 역학 및 모세관력을 활용한 첨단 픽앤플레이스 기술
반도체 웨이퍼 폴리싱 공정 모니터링을 위한 테라헤르츠 기반 정밀 웨이퍼 두께 측정
하이브리드 본딩 접합성 향상을 위한 화학기계적연마