[RCMS]In-situ 결함분석을 통한 고품위 MX2 소재 및 공정기술 개발

산업통상자원부 한국산업기술기획평가원

2024년 - 2024년 12월

[RCMS]극초단파 펄스형 코로나방전반응을 다단식으로 활용한 산업공정가스 및 복합악취 제거 설비 개발

산업통상자원부 한국산업기술기획평가원

2024년 - 2024년 12월

[민간투자금]CMP 경시성 없는 PAD/DISK 개발 및 공정 기술 제안

산업통상자원부 한국산업기술기획평가원

2024년 - 2024년 12월

[기업부담금]반도체 웨이퍼 세정용 PVA브러쉬 재오염 방지 성능 평가

교육부 한국연구재단

2023년 03월 - 2024년 02월

반도체 웨이퍼 세정용 PVA브러쉬 재오염 방지 성능 평가

교육부 한국연구재단

2023년 03월 - 2024년 02월

[RCMS]복합재료 동시설계 산업기술거점센터

산업통상자원부 한국산업기술평가관리원

2023년 - 2023년 12월

[RCMS]유해인자 DB구축 및 IoT기반 공기포집-농축-전처리-상시진단 연계기술개발

환경부 한국환경산업기술원[통합RCMS]

2023년 - 2023년 12월

CMP 경시성 없는 PAD/DISK 개발 및 공정 기술 제안

산업통상자원부 한국산업기술평가관리원

2022년 04월 - 2022년 12월

[e나라도움]2022년 지식재산 교육 선도대학 운영지원 사업

산업통상자원부 특허청

2022년 - 2022년 12월

[대응자금]2022년 지식재산 교육 선도대학 운영지원 사업

산업통상자원부 특허청

2022년 - 2022년 12월