도어 충돌 방지 장치(Door impact preventing device)

주차위치전송장치(Parking Position Transmission Device)

화학액 미스트 분사장치가 구비된 입자유동베드 가공장치(ABRASIVE FLUIDIZED BED MACHINING WITH CHEMICAL LIQUID MIST SPRAYING EQUIPMENT)

화학적 및 기계적 입자 유동 베드 가공 시스템(Chemically and Mechanically Abrasive Fluidized Bed Machining System)

나노-마이크로 미스트를 이용한 나노입자 적층시스템(NANO PARTICLES LAMINATION SYSTEM USING NANO-MICRO MIST)

스프레이 노즐을 이용한 CMP연마 장치(CMP polishing apparatus using a spray nozzle)

반도체 집적 회로 장치의 제조방법(Fabricating method of semiconductor integrated circuit device)

리테이너 링의 두께 조정 없이 서로 다른 두께의 웨이퍼를연마할 수 있는 화학적 기계적 연마 캐리어 및 이를구비한 화학적 기계적 연마 장치 (A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING CARRIER BEING ABLE TOPOLISH THE WAFER WITHOUT THE ADJUSTMENT OF THE RETAINERRING)