재료제거 프로파일 제어를 위한 반도체 CMP 캐리어 헤드 개발

부산산업과학혁신원

2020년 04월 - 2020년 11월

초음파 융착기술을 활용한 무침 연속 주사기 노즐의 제조공정 개발

교육부

2020년 05월 - 2020년 12월

저속사이클론 미세플라스틱 분류성능 해석 용역

한국해약과학기술원 부설 선박해양플랜트연구소

2021년 08월 - 2021년 12월

광촉매 반응을 이용한 전기화학-기계적 평탄화 공정 연구

한국연구재단

2021년 06월 - 2024년 02월

[2차년도]트라이볼로지 관점에서의 CMP MRR 프로파일 해석 연구

기업체

2024년 10월 - 2025년 09월

[3차년도]광촉매 반응을 이용한 전기화학-기계적 평탄화 공정 연구

한국연구재단(과학기술정보통신부)

2023년 03월 - 2024년 02월

[2차년도]4~6인치급 LiTaO3 단결정 초박판화를 위한 표면가공 기술 연구

한국연구재단(과학기술정보통신부)

2023년 - 2023년 12월

[1차년도]4~6인치급 LiTaO3 단결정 초박판화를 위한 표면가공 기술 연구

한국연구재단(과학기술정보통신부)

2022년 04월 - 2022년 12월

[2차년도]광촉매 반응을 이용한 전기화학-기계적 평탄화 공정 연구

한국연구재단(과학기술정보통신부)

2022년 03월 - 2023년 02월

저속사이클론 미세플라스틱 분류성능 해석 용역

한국해양과학기술원 부설 선박해양플랜트연구소

2021년 08월 - 2021년 12월