[1차년도]광촉매 반응을 이용한 전기화학-기계적 평탄화 공정 연구

한국연구재단(과학기술정보통신부)

2021년 06월 - 2022년 02월

[4차년도]하이드록실 라디칼과 용존 산소를 활용한 고능률 하이브리드 연마 공정 연구

한국연구재단(과학기술정보통신부)

2021년 03월 - 2021년 05월

친환경 자동차 핵심 부품 기술개발 인력 양성

부산광역시

2019년 06월 - 2020년 05월

하이드록실 라디칼과 용존 산소를 활용한 고능률 하이브리드 연마 공정 연구

한국연구재단

2019년 03월 - 2020년 02월

CMP 패드 수명향상을 위한 접촉면적 지능제어형 컨디셔닝 시스템 개발

중소기업청

2018년 12월 - 2019년 11월

입자유동 하이브리드 연마시스템 개발

한국연구재단 교육과학기술부

2017년 11월 - 2018년 10월

총재료손실 330㎛ 이하급 양면 사파이어글래스 고생산성 가공시스템 개발

한국산업기술평가관리원

2017년 06월 - 2018년 05월

미세회로 인쇄기판 연마 후 적용되는 친환경 롤-브러쉬 세정장치 개발

한국산업기술진흥원

2014년 07월 - 2015년 06월