이진균 교수 연구실
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실리콘 함유 고불소화 고분자 포토레지스트 및 이를 이용한 유기전자소자의 제조방법
10-2735402
2024.11
연속 흐름 반응 공정을 이용한 자외선 리소그래피용 포토레지스트 고분자 및 이의 제조방법
10-2723279
2024.10
주쇄 절단형 고불소화 고분자 포토레지스트 및 그 제조방법
10-2705839
2024.09
고굴절 화합물과 이를 포함하는 절연막, 광 추출 필름, 유기발광 소자 및 유기발광 장치
10-2687295
2024.07
포토리소그래피용 언더레이어 조성물, 이를 이용하여 형성된 다층 구조 및 이를 이용한 반도 체 소자의 제조방법
10-2687124
2024.07
포토리소그래피용 레지스트 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법
10-2679790
2024.06
복합 폴리이미드 필름, 그 제조 방법, 및 이를 이용한 인쇄 회로 기판
10-2663688
2024.05
레지스트 조성물 및 이를 사용한 패턴 형성 방법(Resist compound and method of forming pattern using the same)
10-2458068-0000
2022.10
신규 화합물 및 이를 포함하는 극자외선용 포토레지스트 조성물(Novel compounds and extreme ultraviolet photoresist composition containing the same)
10-2448080-0000
2022.09
고불소화 고분자 포토레지스트 및 이를 이용한 유기전자소자의 제조방법(Highly fluorinated polymer photoresist and method for manufacturing organic electronic device using the same)
10-2416260-0000
2022.06
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