유기 킬레이터를 이용한 코발트 박막의 건식 식각방법

재증착없는 고이방성 구리 박막의 건식 식각방법

재증착 없는 구리 박막의 건식 식각방법

순환 식각을 이용한 코발트 박막의 식각 방법(Dry-etching method of cobalt thin films using cyclic etching)

코발트 박막의 고밀도 플라즈마 식각방법(Method for High Density Plasma Etching of Cobalt Thin Films)

코발트 박막의 건식 식각방법(Method for Dry Etching of Cobalt Thin Films)

구리 박막의 건식 식각방법

구리 박막의 건식 식각방법(Dry-etching method of copper thin film)

구리 박막의 건식 식각방법(Method for Dry Etching of Copper Thin Films)

팔라듐 박막의 식각방법