스퍼터링 증착을 이용한 Ｚｎ（Ｏ，Ｓ）박막의 제조방법(Preparation Method of Zn(O,S) Thin Film Using Sputtering Deposition)

호이슬러 합금의 식각방법(The method of etching Heusler alloy materials)

H2O 가스를 이용한 자성 박막의 식각 방법

특허 비공개

자기터널접합 구조용 건식 식각 방법 및 이를 위한 기화장치

루테늄 박막의 식각방법

스퍼터링 증착을 이용한 황화카드뮴 박막의 제조방법

호이슬러 합금의 식각방법

MgO 박막의 건식 식각 방법(Dry etching method of MgO thin film)

알칸계 혼합가스를 이용한 자성박막의 식각방법(The method for etching of magnetic thin films using alkanes mixture gas)