정지원 교수 연구실
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자기터널접합 적층 박막에 대한 건식 식각 방법
10-1312028
자기터널접합 구조에 대한 건식 식각 방법
10-1222190
에어로졸 젯 증착장치 및 이를 이용한 광흡수층의 제조방법
10-1194651
자성박막의 식각방법
10-1171387
리프트오프 공정에 의해 패턴이 형성된 투명전극 및 이를 이용한 태양전지
10-1071412
알칸계 혼합가스를 이용한 자성박막의 식각방법
10-2011-0081384
에어로졸 젯 증착장치 및 이를 이용한 광흡수층의 제조방법
10-2011-0024218
특허 출원중 비공개
10-2011-0024218
자기터널접합 구조에 대한 건식 식각 방법
10-2011-0015580
상변화 물질(Ｇｅ_ｘＳｂ_ｙＴｅ_ｚ)에 대한 건식 식각방법 (Dry Etching Method for Phase Change Materials)
10-0805844-0000
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