산화아연 물질에 대한 건식 식각 방법(Dry Etching Method for ZnO Materials)

상변화 물질 (GexSbyTez)에 대한 건식 식각 방법(Dry Etching Method for Phase Change Materials)

인듐-징크옥사이드 물질에 대한 건식 식각 방법

ＴｉＮ을 상지층으로 사용한 자기 저항 소자(Magnetoresistance Device using TiN as capping layer)

Dry etching of electrode/ferroelectric stack structure by using TiO2 hard mask

Method for fabricating a ferroelectric capacitor

Method for Dry-Etching a Platinum Thin Film

SBT 박막의 건식 식각 방법

강유전체 커패시터 구조체의 건식 식각방법

강유전체 박막의 제조방법