주요 특허
극자외선 리소그래피용 마스크의 세정 방법 및 세정 장치
상태
등록출원연도
2008출원번호
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상태
등록출원연도
2007출원번호
1020070097838| 상태 | 출원연도 | 과제명 | 출원번호 | 상세정보 |
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| 상태 | 출원연도 | 과제명 | 출원번호 | 상세정보 |
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