김태곤 교수 연구실
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펠리클 세정 장치 및 이를 이용한 펠리클 세정 방법
202211663432.1
2022.12
III-V족 반도체 물질의 평탄화 슬러리, 및 III-V족 반도체 채널의 제조 방법
10-2020-0116270
2020.09
펠리클 세정 방법, 및 펠리클 세정 장치
10-2020-0067481
2020.06
극자외선 리소그래피용 마스크의 세정 방법 및 세정 장치
10-2008-0050846
2008.05
반도체 패턴 구조물의 정보 측정 및 분석 방법
10-2007-0097838
2007.09
반도체 패턴 구조물의 정보 측정 및 분석 방법 (MEASUREMENT AND ANALYSIS METHOD OF SEMICONDUCTOR PATTERN STRUCTURE)
10-2007-0097838
2007.09
파티클 입자 증착 설비
10-2007-0070121
2007.07
파티클 입자 증착 설비
10-2007-0070121
2007.07
혈청 분리용 마이크로 장치(Microsystem for separating serum from blood)
10-0647320-0000
2006.11
콜로이달 프로브의 제작장치 및 이를 이용한 제작방법
10-2006-0069002
2006.07
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