이효종 교수 연구실
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질화 처리된 밸브 및 그 제조방법
1020120158726
2012.12
박막의 미세성장제어장치 및 제어방법
10-2012-0045637
2012.04
화합물반도체 선택적 결정 성장 방법
10-2012-0045289
2012.04
선택적 스퍼터링 박막을 갖는 화합물반돛 및 그 제조 방법
10-2012-0045697
2012.04
발광다이오드 패키지 및 그 제조 방법
10-2012-0045620
2012.04
구리 다마신 형성 방법(Method For Fabricating Copper Damascene)
10-0886257-0000
2009.02
Void-free Metal Interconnection Structure and Method of Forming the Same
1581476
2008.06
Inductor for a System On a Chip and a Method of Manufacturing the Same
20080102409
2008.05
도금 처리 장치 및 이를 이용한 도금 처리 방법(Electroplating Apparatus and Electroplating Method Using the Same)
10-0755661-0000
2007.08
Methods of Fabricating Damascene Interconnection Line in Semiconductor Devices and Semiconductor Devices Fabricated Using such Methods
20070059923
2007.03
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