지역균형발전을 위한 한국-벨기에 미래 혁신성장 글로벌 인재 양성 (3차)

산업통상자원부

2023년 03월 - 2024년 02월

10nm급 이하 실시간 상태 모니터링 및 제어 가능한 CMP 장비 개발

산업통상자원부

2023년 - 2023년 12월

Single형 반도체 Wafer 세정장비용 메가소닉 Unit 개발

중소벤처기업부(2017Y)

2022년 09월 - 2023년 09월

지역균형발전을 위한 한국-벨기에 미래 혁신성장 글로벌 인재 양성 (2차)

산업통상자원부

2022년 03월 - 2023년 02월

반도체 무전분 싱글 웨이퍼 클리너 양산성능평가지원사업

산업통상자원부

2021년 10월 - 2022년 09월

지역균형발전을 위한 한국-벨기에 미래 혁신성장 글로벌 인재 양성

산업통상자원부

2021년 03월 - 2024년 02월

10um이상 Deep Contact 습식 세정 기술 연구

산업통상자원부

2021년 - 2021년 12월

IIIV 반도체 Channel CMP 및 Post CMP 세정 공정 개발

산업통상자원부

2021년 - 2021년 12월

한국-벨기에 미래 혁신성장을 위한 글로벌 전문가 양성 2차

산업통상자원부

2020년 - 2021년 06월

한국-벨기에 미래 혁신성장을 위한 글로벌 전문가 양성 1차

산업통상자원부

2019년 04월 - 2019년 12월