발행물
컨퍼런스
한국생산제조학회 춘계학술대회논문집
2024
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5축 공작기계의 공간오차 보정을 위한 민감도 분석법 및 변환오차 개발
대한기계학회 생산 및 설계공학부문 춘계학술대회논문집
이상적인 간섭무늬를 위한 딥러닝 기반 2차 고조파 잡음 제거 기법 개발
딥러닝 기반 파면 감지를 이용한 실리콘 웨이퍼의 간섭 표면 형상 측정법 개발
한국정밀공학회 춘계학술대회논문집
기계학습 기반 광간섭법을 이용한 실리콘 웨이퍼 표면 형상 측정
실리콘 웨이퍼 총 두께 편차의 간섭 측정을 위한 4-layer 스테이지 설계