발행물
컨퍼런스
제42회 한국진공학회 동계정기 학술대회
2012
,
PBMS를 이용한 실리콘 나노입자 합성 특성의 실시간 분석에 관한 연구
2011 International Conference on Planarization/CMP Technology
2011
Frictional Characteristic of CMP Process with Polymeric Additive PAA
The synthesis of CeO2 nanoparticle coverd by PAA for CMP slurry
220th Electrochemical Society Meeting
Optimization of CO2 gas cluster generation for cleaning application
2011 클린룸 기술 심포지움
클린룸 내 나노입자 모니터링