[LTCAM] Cu TSV 슬러리 및 Cu Barrier Metal 슬러리 성능평가 및 개발

2020년 05월 - 2024년 05월

[삼성 전략 산학] 플라즈마 공정 최적화 프로세스를 활용한 이차원 소재 합성 및 뉴로모픽 소자개발 연구

2020년 09월 - 2025년 09월

[삼성종기원] CMP소재개발을 위한 연마공정 및 평가

2023년 03월 - 2024년 03월

[ACENANOCHEM] [기술 이전] Cu CMP 슬러리 개발 Flow 및 분석 기술 노하우

2022년 12월 - 2024년 12월

[BASF] Post CMP Cleaner - Metal PCC (Mo, Co, Cu)

2023년 01월 - 2025년 01월

[케이씨텍] Cu Bulk CMP용 Corrosion 방지 Inhibitor 개발

2023년 06월 - 2023년 12월

[코미코] CMP 공정 기술 고도화 Project

2023년 12월 - 2024년 12월

Fumed Silica 분산기술 개발 및 CMP 성능 평가

2018년 02월 - 2020년 01월

CMP 슬러리 및 Post CMP 세정액 성능 평가 및 개발

2017년 06월 - 2020년 05월

CVD 공정설비의 열/기류 해석을 통한 설비 내 열/기류 분포 해석

2017년 08월 - 2020년 06월