복합센서를 이용한 패드와 웨이퍼 사이의 미세 접촉변화 측정기법 개발

2016년 07월 - 2017년 06월

비회 이송설비 설계 해석 프로그램 개발

2016년 07월 - 2017년 06월

슬러리 특성 평가 및 CMP 성능 평가 연구

2016년 07월 - 2017년 06월

CMP 공정 스크래치 저감을 위한 다기능 컨디셔너 ARM용 다이아몬드 컨디셔너 개발

2011년 09월 - 2012년 08월

CMP 공정용 필터 입자 제거율 및 사용시간에 대한 성능 평가

2011년 07월 - 2012년 06월

태양전지 셀 웨이퍼 Etching 장치 평가

2010년 06월 - 2011년 06월

CMP 공정 생산성 향상을 위한 다기능 컨디셔너 ARM 개발 평가

2011년 02월 - 2012년 01월

LBP에서의 현 Nanoparticle 파악 및 요인계 분석

2011년 - 2011년 07월

ISPM을 이용한 PECVD 장비의 공정평가 및 오염입자 거동에 관한 수치해석 연구

2010년 08월 - 2011년 07월

CMP 패드 형상에 따른 간극 내 슬러리 유동 및 Ceria 연마입자 거동예측

2010년 07월 - 2012년 06월