발행물
컨퍼런스
한국공작기계학회 2009 춘계학술대회
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실리콘 웨이퍼 폴리싱 패드의 수명과 드레싱 결함의 관계에 관한 연구
한국공작기계학회 추계학술대회
Ni-Ti 형상기억합금의 전해가공을 이용한 미세그루브 가공 특성연구
연속전해드레싱을 적용한 래핑을 이용한 Y2O3 가공특성에 대한 연구
23rd ASPE Annual Meeting and 12th ICPE
Characterisation on the Surface Quality and Removal of Wafer with Variable Machining Conditions in the Wafer Polishing System
Key Engineering Materials
A study on statistical analysis of Si-wafer polishing process for the optimum polishing condition