발행물
컨퍼런스
MESIC`07
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The Study on the Machining Characteristics of Large Size Si-wafer Polishing
한국정밀공학회 2007년 춘계학술대회
압력의 변화에 따른 대구경 웨이퍼의 표면 거칠기 분포에 대한 연구
웨이퍼 Final Polishing의 온도 변화에 따른 가공 특성에 대한 연구
연속전해드레싱을 적용한 머신어블 세라믹의 가공특성연구
다구찌 기법을 이용한 Nitinol 형상기억합금의 마이크로 전해연마 가공 특성 분석