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A study on the surface characteristic of Y2O3 using ultra-precision lapping process with optimum in-process electrolytic dressing

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A study on the micro surface finishing and deburring for nitinol shape memory alloy unsing electropolishing

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가공속도와 슬러리의 가공온도에 따른 웨이퍼 폴리싱의 표면 특성에 관한 연구

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Wafer final polishing에 따른 표면 현상과 마멸도에 관한 연구

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신경 회로망을 이용한 Wafer final polishing의 가공 결과 예측