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진동 둔감 광 간섭계를 이용한 실리콘 웨이퍼 표면형상 측정

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12인치 웨이퍼 폴리싱 장치의 작동조건에 따른 진동 특성 연구

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12인치 웨이퍼 폴리싱의 최적 가공 특성에 관한 연구

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12인치 웨이퍼 폴리싱 시스템의 성능 평가에 관한 연구

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페룰의 무심 연삭 가공시 실험계획법 및 회귀분석 적용에 관한 연구