발행물
컨퍼런스
2023 한국세라믹학회 추계학술대회
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3D Logic Device 공정용 장비 전산모사 및 검증
삼차원 메모리 핵심 공정에 대한 플라즈마 식각 공정의 전산모사
25th International Symposium on Plasma Chemistry
Radical effect in a surface kinetic model of fluorocarbon plasma etching process
2023년도 봄 총회 및 학술대회
Tin-based perovskite solar cells over 13% efficiency with inclusion of N-doped graphene oxide in active, hole-transport and interfacial layers
Origin of bottom distortion of high aspect ratio plasma etch process