발행물
컨퍼런스
euspen’s 19th International Conference & Exhibition
2019
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Dual low coherence scanning interferometer for rapidly measuring large step
2019 한국정밀공학회 춘계학술발표대회
대영역 박막 두께 측정을 위한 영상타원계측기 개발
편광 저간섭성 주사 간섭계 고속 측정 기술
박막 시편의 표면 및 두께 동시 측정 연구
3차원 자유 곡면 측정을 위한 단일 영상 층밀리기 간섭계