발행물
컨퍼런스
SPIE Advanced Lithography, 2019
2019
,
Measurement system of film structure by interferometry and ellipsometry
한국광학회 2019 동계학술대회
산업적 응용을 위한 3차원 광계측 기술개선
2018 한국정밀공학회 추계학술대회
2018
광섬유 기반의 고출력 펄스 생성을 위한 가간섭 결합 연구
실시간 다층 박막 구조물 분석 기술 개발
초소형 측정 프로브 기반 저간섭성 주사 간섭계