발행물
컨퍼런스
한국정밀공학회 2024 춘계학술발표대회
2024
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마이크로 스팟을 갖는 단일 회전 보상기 기반 분광 타원계측기 광학계 최적화 연구
고분해능 3차원 패턴 조사 현미경
파장판의 위상지연을 이용한 파장 이미징 연구
패턴 조사 현미경의 편광 특성 연구
회전 밀림 간섭계를 이용한 비대칭 표면 형상 측정 연구