발행물
컨퍼런스
2003년도 한국물리학회 논무발표회
,
산소 유도 결합 플라즈마에서 음이온 특성 연구
물리학회
The measurement of the electron energy distribution function in a inductively coupled plasma
IEEE Plasma Science
On Electron Heating Mechanism in Low Pressure High Density Inductively Coupled Plasma (ICP)
78회 정기총회및 연구논문발표회
The Measurement of the Electron Energy Distribution Function in Inductively Coupled Plasma