발행물
컨퍼런스
추계화학공학회
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SiO2 hard mask를 이용한 자성 박막의 건식 식각
추계공업학회학술대회
Lanthanum 조성변화에 따른 강유전체 Bi4-xLaxTi3O12 박막의 구조적, 전기적 특성
한국화학공학회, 이동현상부문위원회
Cl2/C2F6 and HBr Plasmas 에서 PZT 박막의 Inductively coupled plasma etching
9th APCChE Congress and CHEMECA 2002
Bi3.25La0.75Ti3O12 Thin Films Prepared on Pt/Ti/SiO2/Si(100) by Chemical Solution Deposition
추계화학공학회학술대회
DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 Ge2Sb2Te5 박막의 증착