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고밀도 플라즈마를 사용한 polysilicon 박막의 nanometer 크기의 패터닝

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화학 용액 증착법에 의하여 증착된 Bi3.25La0.75Ti3O12 박막에 대한 결정화 온도의 영향

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Cl2/Ar과 C2F6/Ar 가스를 사용한 Polysilicon 박막의 고밀도 플라즈마 식각

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반응성 스퍼터링에 의한 TiAlN 박막의 증착

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Inductively Coupled Plasma Etching of Pb(ZrXTi1-X)O3 Thin Film in a HBr/Ar Plasma