주요 특허
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고유전 비정질 불소화 탄소 박막 게이트 유전층을 갖는 반도체 소자 및 그 제조방법
상태
등록출원연도
2022출원번호
1020220116331고유전 비정질 불소화 탄소 박막을 이용한 커패시터, 그 제조방법 및 이를 이용한 반도체
상태
등록출원연도
2022출원번호
1020220116333고유전 비정질 불소화 탄소 초박막층을 포함하는 반도체 구조물과 반도체 소자 및 그 제조방법
상태
등록출원연도
2022출원번호
1020220116327고유전막 및 이를 포함하는 반도체 또는 커패시터 소자
상태
등록출원연도
2020출원번호
1020200071703그래핀 또는 그래핀-금속 복합체 박막의 패터닝 방법
상태
등록출원연도
2017출원번호
1020170037862