발행물
컨퍼런스
한국 진공학회
1999
,
플라즈마 이온주입방법으로 BORON 도핑된 실리콘 기판의 도펀트 활성화와 기판손상에 관한 연구
한국전자현미경학회
CO/TI 다층 박막 구조 시스템에서의 계면반응에 관한 연구
한국 전자 현미경 학회
열처리에 따른 REACTIVE DC마그네트론 스퍼터로 증착한 CEO2 박막의 미세구조와 전기적특성 평가
MAT. RES. SOC. SYMP. PROC
1998
A METHOD FOR INDEPENDENT MESUREMENT OF ELASTIC MODULUS AND POSSON'S RATIO OF DIAMOND-LIKE CARBON FIL
한국 전자 현미경 학회지
IN-SITU DYNAMIC MICROSCOPY에 의한 METAL-SEMICONDUCTOR 계면반응의 관찰