발행물
컨퍼런스
요업학회 추계 연구 발표회
1999
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DC 마그네트론 스퍼터로 증착한 CEO2 박막의 열처리에따른 전기적 특성 평가
고집적 소자에의 응용을 위한 다결정 SI1-XGEX박막의증착 및 전기적 특성 분석
INTER. INTERCONN. TECH. CONF
NEW EFFECT OF TI CAPPING IN CO SALICIDE PROCESS PROMISING FOR DEEP SUBQUARTER MICRON TECHNOLOGY
한국 진공학회
CO/TI 다층 박막 구조 시스템에서의 계면 반응
HVCVD를 이용한 SIGE박막의 증착 및 활성화 메카니즘분석