발행물
컨퍼런스
요업학회 추계 연구 발표회
2000
,
열처리에 따른 CEO2박막의 미세구조와 전기적 특성평
제 18회 한국 진공학회
증착조건에 따른 ZRO2게이트 유전막의 특성
TI CAPPING LAYER에 의한 CO-SILICIDE 박막의 형성에관한 연구
HCM(HOLLOW CATHOD MAGNETRON SPUTTERING)방식으로 증착한 TITANIUM 박막의 특성연구
POLY SI1-XGEX 의 산화 거동 연구